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名詞解釋
潔凈氮?dú)庹婵蘸嫦洌ㄓ置?充氮真空烘箱）;其能提供潔凈的真空環(huán)境，HOCHECK充氮真空烘箱能在450度以上提供真空無(wú)氧環(huán)境;被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥、科研等行業(yè)，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)真空、潔凈、無(wú)氧和高溫的烘箱。
主要應(yīng)用
一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中，半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮?dú)饴?lián)動(dòng)加以保護(hù)。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級(jí)甚至更高的潔凈度可保護(hù)這些材料不被污染。
基本要求
潔凈度100級(jí)以上，真空度50KPar，可自動(dòng)聯(lián)動(dòng)開啟氮?dú)忾y門，溫度:常溫→230℃，整體不銹鋼材料，可編程PLC控制器，多級(jí)過溫保護(hù)系統(tǒng)。
參考資料
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