北航智能微納公共創(chuàng)新中心電子束蒸發(fā)系統(tǒng)采購公告
招標(biāo)發(fā)布時間：2022/5/24 10:30:16
投標(biāo)截止時間：2022/5/27 18:00:00
入圍供應(yīng)商：0家
招標(biāo)產(chǎn)品
| 產(chǎn)品名稱 | 采購量 | 產(chǎn)品描述 | 產(chǎn)品文件 | 圖片 |
|---|
供應(yīng)商要求
- 發(fā)票要求：
- 不用發(fā)票（備注：專票資質(zhì)可以報普票要求）
- 供應(yīng)商性質(zhì)：
- 無特殊要求
- 經(jīng)營地址：
- 無特殊要求
商務(wù)條款
- 收獲地：
- 北京 >北京市 >昌平區(qū)
- 交貨期：
- 下單后0天內(nèi)交貨至采購商指定地點
詳細(xì)說明
1. 采購貨物有關(guān)信息
1、采購貨物相關(guān)信息：
（ 1）貨物名稱：電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
（ 2）技術(shù)指標(biāo)：
| 序號 | 貨物 /服務(wù)名稱 | 詳細(xì)參數(shù)要求 |
| 1 | 電子束蒸發(fā)系統(tǒng) | |
| 1 .1 | 設(shè)備配置 | 設(shè)備配置清單： 1. 工藝樣品真空室； 2. 蒸發(fā)源真空室； 3. 真空系統(tǒng)：雙大抽速磁懸浮分子泵 +干泵； 4. 坩堝數(shù)量 ×6； 5. 8千瓦電子槍； 6. 水冷樣品臺； 7. 自動控制系統(tǒng) 環(huán)境約束 1. 1．水、電、氣需求和保障情況： 供電： 380 伏 (±5%)，50Hz，3相5線，最大功率30千瓦； 供水：流量 30-35 升/分鐘，制冷功率4千瓦，水溫18到25攝氏度，進水壓力 0.4到0.5MPa，出水壓力小于0.1MPa，最大進水壓力小于0.5MPa； 供氣：流量 15-25 升/小時，干燥空氣，壓力90-110 Psi，用于系統(tǒng)閥門工作，采用外徑6毫米塑料管連接到設(shè)備上。 2. 設(shè)備環(huán)境溫度要求：15 至 35 攝氏度 |
| 1 .2 | 項目技術(shù)及質(zhì)量要求 | 1. 沉積材料：各種金屬； 2. ★不銹鋼工藝真空腔內(nèi)徑不小于500毫米，高度不低于500毫米，工藝腔室前開門上附帶至少一個直徑不小于100毫米防輻射的觀察窗； 3. ★ 配有上下兩個獨立的工藝腔室，蒸發(fā)源腔室和鍍膜腔室獨立真空，互不干擾，每次可裝載一個8英寸樣品或更小尺寸樣品； 4. ★電子束蒸發(fā)源：配置一把國際主流品牌六坩堝位，容量15CC電子槍；帶流量感應(yīng)探頭的冷卻水回路；坩堝控制器與PLC和薄膜沉積控制器連接，可以自動選擇坩堝位；一臺8千瓦電子槍電源，配掃描控制器，可存儲至少30個不同的電子書掃描圖形； 5. ★ 薄膜沉積系統(tǒng)：配置一套國際主流品牌晶振控制器，集成于系統(tǒng)PLC可用于蒸發(fā)源和擋板的自動操作，配置一套雙探頭晶振探測器； 6. ★配有一個直徑不小于8英寸旋轉(zhuǎn)工件臺，旋轉(zhuǎn)速度：0～20轉(zhuǎn)/分鐘，采用磁流體密封；在保證均勻性的前提下每批次可沉積不少于3片4英寸樣品； 7. ★上真空室配有一臺抽速不小于2000L/s的磁懸浮分子泵；下真空室配有一臺抽速不小于2000L/s的磁懸浮分子泵；配有兩臺抽速不小于20cfm的干式機械泵； 8. ★ 配有三個插板閥，采用不銹鋼閥體，連續(xù)無故障運行50000次，；電控氣動執(zhí)行，并帶位置反饋； 9. ★ 真空性能：極限真空優(yōu)于5E-5Pa； 10. ★真空抽速：工藝腔從大氣抽到5E-4Pa的時間少于10分鐘； 11. 真空室漏率：優(yōu)于 5E-3Pa·L/s； 12. 前級管道需安裝檢漏閥； 13. ★ 系統(tǒng)配有全量程真空規(guī)，皮拉尼真空規(guī)； 14. 沉積薄膜 8英寸范圍內(nèi)厚度均勻性小于等于±5%；連續(xù)作業(yè)，厚度均值波動小于±2%； 15. 系統(tǒng)需配有全自動控制軟件及控制電腦，可以實現(xiàn) “一鍵式”全自動操作，自動按照編輯好的工藝菜單執(zhí)行抽真空、加熱、預(yù)清洗、鍍膜、真空室放氣、進樣取樣等所有操作；有手動、自動和維修三種操作模式； 16. 工藝人員可以方便地創(chuàng)建、編輯、存儲工藝文件，可儲存工藝文件數(shù)量不少于 200個；設(shè)備帶有完整的互鎖，保障人員和設(shè)備安全；設(shè)備可自動自動記錄并存儲工藝參數(shù)，方便出現(xiàn)工藝問題時追溯查找問題。 17. ★控制操作空間和設(shè)備維護空間相隔離，整個操作和運行工作都能夠在同一個平面完成，滿足實驗室穿墻設(shè)計，主控計算機、工藝腔室開門和進樣室開門在同一個垂直平面上 |
| 2 | 售后服務(wù) | |
| 售后服務(wù) | 1、供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系，供應(yīng)商有固定的維護人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。 投標(biāo)單位投標(biāo)時必須在投標(biāo)文件中明確地提供售后服務(wù)機構(gòu)或廠家、地址、電話、聯(lián)系人等資料。 2、在保質(zhì)期以內(nèi)，投標(biāo)人在接到客戶的維修通知對故障能在2小時內(nèi)響應(yīng)，4小時內(nèi)派出有能力的維修人員趕到客戶現(xiàn)場進行維修處理（若用戶提出新的要求，在招標(biāo)文件的采購設(shè)備清單中特別提出）。 3、在保質(zhì)期滿后，投標(biāo)人應(yīng)保證以合理的價格提供備件和保養(yǎng)服務(wù)，當(dāng)發(fā)生故障時，投標(biāo)人應(yīng)按保質(zhì)期內(nèi)同樣的要求進行維修處理，合理收取維修費。 4、質(zhì)保期 1 年。 | |
（ 3）數(shù)量：
| 序號 | 產(chǎn)品 | 數(shù)量 /單位 |
| 1 | 電子束蒸發(fā)系統(tǒng) | 1 套 |
（ 4）交貨期： 收到貨款 后 9 0 天內(nèi)
（ 5）交貨地點：北京航空航天大學(xué)第一館智能微納公共創(chuàng)新中心
（ 6）是否接受進口產(chǎn)品：否
2、采購預(yù)算（最高限價）： 9 1 萬
3、參選單位資格要求：
（ 1）在中華人民共和國境內(nèi)注冊、響應(yīng)招標(biāo)、參加響應(yīng)競爭的法人、其他組織或者自然人；
（ 2）響應(yīng)人（供應(yīng)商）應(yīng)具備《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
① 具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；
② 具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務(wù)會計制度；
③ 具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
（ 3）本項目不接受聯(lián)合體響應(yīng)；
（ 4）本項目不允許轉(zhuǎn)包、分包；
（ 5）近三年內(nèi)，本項目響應(yīng)截止期前，被“信用中國”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國政府采購網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的），不得參與本項目；
（ 6）法律、行政法規(guī)關(guān)于“合格響應(yīng)人”的其他條件。
4、報名方式及截止時間：
報名方式：將報名信息（公司名稱、地址、營業(yè)執(zhí)照掃描件、銷售人員姓名、聯(lián)系方式等）發(fā)送至郵箱 bhsme@buaa.edu.cn 。截止報名時間： 202 2 年 5 月 26 日 17時。
5、競價會時間及方式：
時間： 202 2 年 5 月 28-31 日；方式：鑒于疫情影響，采取視頻會議方式。具體時間和開會方式由學(xué)院采購工作領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室進一步通知。
6、參加競價會所需提供材料：
5 月 27 日 18:00前，參選供應(yīng)商需將正式書面報價單和報名資料（均需加蓋單位公章并密封好）郵寄至以下地址：
地址：北京市 昌平 區(qū) 東辰小區(qū) 10號樓3單元102
尉國棟 老師收，手機號： 13621142610
7、采購項目經(jīng)辦人聯(lián)系方式（采購項目咨詢）：
尉國棟 老師，郵箱： jellwei @buaa.edu.cn
8、學(xué)院采購工作領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室聯(lián)系方式（異議或投訴）：
邵老師， bhsme@buaa.edu.cn 或 010-82316712（上午9點-11:30；下午14:30-17:00）
已收到的報價（0條）
| 報價時間 | 產(chǎn)品名稱 | 供應(yīng)商 | 所在地區(qū) | 本次報價條款 |
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