雙氣動真空角閥：結(jié)構(gòu)原理與技術(shù)優(yōu)勢解析

來源：鳴富真空科技（上海）有限公司 2025年09月16日 17:14

　　雙氣動真空角閥以精準(zhǔn)氣流控制和穩(wěn)定適配性，應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)等場景，為真空系統(tǒng)壓力調(diào)節(jié)與氣流阻斷提供支持。以下從結(jié)構(gòu)原理、技術(shù)優(yōu)勢與場景兩方面解析。

　　一、核心結(jié)構(gòu)與工作原理：雙氣動驅(qū)動，精準(zhǔn)控制

　　閥門采用 “雙氣動驅(qū)動 + 角式流道” 模塊化設(shè)計，保障真空穩(wěn)定運(yùn)行：

　　•核心結(jié)構(gòu)：含不銹鋼閥體(角式流道減阻力)、雙氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)(分控開關(guān)防卡滯)、耐真空密封組件(保氣密性)及控制接口。

　　•工作原理：通氣推動閥芯實(shí)現(xiàn)流道通斷，可連 PLC 控制器自動化控制，閥芯響應(yīng)達(dá)毫秒級，滿足時效需求。

　　二、技術(shù)優(yōu)勢與適用場景：適配復(fù)雜工況

　　依托結(jié)構(gòu)優(yōu)化，閥門適配多行業(yè)需求：

　　•技術(shù)優(yōu)勢：10??Pa 至大氣壓寬真空適配；不銹鋼閥體耐腐；角式結(jié)構(gòu)易安裝，組件標(biāo)準(zhǔn)化易維護(hù)。

　　•適用場景：半導(dǎo)體芯片工藝、真空鍍膜氣體調(diào)節(jié)、科研實(shí)驗(yàn)真空控制，及光伏鍍膜、電子真空釬焊等。

　　后續(xù)將優(yōu)化閥門密封與響應(yīng)速度，開發(fā)多規(guī)格型號，提供更精準(zhǔn)的真空控制方案。

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